扫描式电容显微镜（Scanning Capacitance Microscopy，简称SCM）利用接触式原子力显微镜（AFM）扫描试片，使用金属探针，探针及试片上的氧化层形成一个MIS电容（如。
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西元 2017 年 2 月 民國 106 年 - 農曆歲次-丁酉年【雞】
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